¿þÀÌÆÛ º»µù ºÐ¾ß ¼±µµ±â¾÷ EV±×·ì(EVG)Àº ¿ÏÀüÈ÷ »õ·Î¿öÁø ÀÚµ¿È »ý»ê Ç»Àü º»µù ½Ã½ºÅÛÀÎ ‘º»µå½ºÄÉÀÏ(BONDSCALE)’À» Ãâ½ÃÇÑ´Ù°í ¹àÇû´Ù. º»µå½ºÄÉÀÏÀº ¸ð³î¸®½Ä 3D(M3D) °°Àº ·¹À̾î ÀüÀÌ °øÁ¤ ±â¼úÀ» È°¿ëÇϴ ÷´Ü °ø¾÷¿ë ±âÆÇ Á¦Á¶ ¹× 3D ÅëÇÕ ¹æ½Ä µî ±¤¹üÀ§ÇÑ Ç»Àü/ºÐÀÚ ¿þÀÌÆÛ º»µù ¾ÖÇø®ÄÉÀ̼ǿ¡ È°¿ëµÉ ¼ö ÀÖµµ·Ï ¼³°èµÆ´Ù.
EVG´Â º»µå½ºÄÉÀÏ Ãâ½Ã¸¦ ÅëÇØ ¿þÀÌÆÛ º»µù ±â¼úÀ» ÇÁ·±Æ®¿£µå ¹ÝµµÃ¼ ó¸® °øÁ¤¿¡ Á¦°øÇÔÀ¸·Î½á IRDS(International Roadmap for Devices and Systems)°¡ ‘¹«¾îÀÇ ¹ýÄ¢’ ÀÌ»óÀ¸·Î ·ÎÁ÷ µð¹ÙÀ̽º¸¦ Çâ»ó½ÃÅ°°íÀÚ ÇÒ ¶§ÀÇ °úÁ¦µé·Î ¿À·¡ ÀüºÎÅÍ °Å·ÐÇØ ¿Â ¹®Á¦µéÀ» ÇØ°áÇÏ´Â µ¥ ±â¿©Çß´Ù. °ÈµÈ ¿§Áö Á¤·Ä ±â¼ú ä¿ëÀ» ÅëÇØ ±âÁ¸ Ç»Àü º»µù Ç÷§Æû ´ëºñ ¿þÀÌÆÛ º»µù »ý»ê¼ºÀÌ Å©°Ô Çâ»óµÆÀ¸¸ç, ¼ÒÀ¯ ºñ¿ëµµ Å©°Ô ³·¾ÆÁ³´Ù.
º»µå½ºÄÉÀÏÀº EVGÀÇ ¾÷°è ¼±µµÀûÀÎ Á¦¹Ì´Ï(GEMINI) FB XT ÀÚµ¿È Ç»Àü º»µù ½Ã½ºÅÛ°ú ÇÔ²² ÆǸŵǰí ÀÖÀ¸¸ç, °¢°¢ÀÇ Ç÷§ÆûÀº ¼·Î ´Ù¸¥ ¿ëµµ¿¡ ÃÊÁ¡ÀÌ ¸ÂÃçÁ® ÀÖ´Ù. º»µå½ºÄÉÀÏÀº ±âº»ÀûÀ¸·Î ÷´Ü °ø¾÷¿ë ±âÆÇ º»µù ¹× ·¹À̾î ÀüÀÌ °øÁ¤¿¡ ÁÖ·ÂÇÏ°Ô µÇ¸ç, Á¦¹Ì´Ï FB XT´Â ¸Þ¸ð¸® ÀûÃþ, 3D ½Ã½ºÅÛ¿ÂĨ(SoC), BIS CMOS À̹ÌÁö ¼¾¼ ÀûÃþ, ´ÙÀÌ ÆÄƼ¼Å´× °°ÀÌ º¸´Ù ³ôÀº Á¤·Äµµ°¡ ¿ä±¸µÇ´Â ¾ÖÇø®ÄÉÀ̼ÇÀ» Áö¿øÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
EVG Æú ¸°µå³Ê(Paul Lindner) CTO´Â “EVG´Â °í°´µéÀÌ »õ·Î¿î ¹ÝµµÃ¼ ±â¼úÀ» Ãʱâ R&D ´Ü°è¿¡¼ºÎÅÍ ÃÖÁ¾ »ý»ê´Ü°è±îÁö Àû¿ëÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï ÇÏ´Â µ¥ ¾ÕÀå¼ ¿Ô´Ù”¸ç “»õ·Ó°Ô Ãâ½ÃÇÑ º»µå½ºÄÉÀÏ ¼Ö·ç¼ÇÀº ÇÑÃþ ´õ ³ôÀº ¼öÁØÀÇ »ý»ê¼ºÀ» ±¸ÇöÇØ ¹«¾îÀÇ ¹ýÄ¢ ÀÌÈÄÀÇ ½Ã´ë¸¦ À§ÇÑ Â÷¼¼´ë ·ÎÁ÷ ¹× ¸Þ¸ð¸® µð¹ÙÀ̽º°¡ Áö¼ÓÀûÀ¸·Î Ãß±¸ÇÏ´Â º¸´Ù ¿ì¼öÇÑ ¼º´É, Àü·Â ¼Ò¸ð, ¸éÀû Ãà¼Ò°¡ °¡´ÉÇÏ°Ô ÇØÁִ ÷´Ü °ø¾÷¿ë ±âÆÇ ¹× ·¹À̾î ÀüÀÌ °øÁ¤¿¡ ´ëÇÑ Áõ°¡ÇÏ´Â ¼ö¿ä¸¦ ÃæÁ·ÇÑ´Ù”°í ¼³¸íÇß´Ù.
º»µå½ºÄÉÀÏÀº FEOL(Front-End-Of-Line) ¾ÖÇø®ÄÉÀ̼ǿ¡ ¿ä±¸µÇ´Â Ç»Àü/Á÷Á¢ ¿þÀÌÆÛ º»µù¿ë ´ë·® »ý»ê ½Ã½ºÅÛÀÌ´Ù. EVGÀÇ ·Î¿ìÅÛÇÁ(LowTemp) ÇöóÁ È°¼ºÈ ±â¼úÀÌ Æ¯Â¡ÀÎ º»µå½ºÄÉÀÏ ½Ã½ºÅÛÀº ¼¼Á¤, ÇöóÁ È°¼ºÈ, Á¤·Ä, »çÀü º»µù ¹× IR °Ë»ç µî Ç»Àü º»µù¿¡ ÇÊ¿äÇÑ ¸ðµç ÇÙ½É Á¶Ä¡µéÀ» ´ÜÀÏ Ç÷§Æû¿¡ ÅëÇÕÇÏ°í ÀÖ¾î, ±¤¹üÀ§ÇÑ Ç»Àü/ºÐÀÚ ¿þÀÌÆÛ º»µù ¾ÖÇø®ÄÉÀ̼ǿ¡ ÀûÇÕÇÏ´Ù. ÀÌ ½Ã½ºÅÛÀº 200mm¿Í 300mm ¿þÀÌÆÛ ¸ðµÎ¸¦ ó¸®ÇÒ ¼ö ÀÖ¾î º¸À̵尡 ¾ø´Â(void-free) ³ôÀº »ý»ê¼ºÀÇ °í¼öÀ² »ý»ê °øÁ¤À» º¸ÀåÇÑ´Ù.
º»µå½ºÄÉÀÏÀº Â÷¼¼´ë Ç»Àü/Á÷Á¢ º»µù ¸ðµâ°ú »õ·Î¿î ¿þÀÌÆÛ Çڵ鸵 ½Ã½ºÅÛ ¹× ±¤ÇÐ ¿§Áö Á¤·ÄÀ» ÅëÇÕÇÔÀ¸·Î½á ÷´Ü °ø¾÷¿ë ±âÆÇ ¿þÀÌÆÛ »ý»ê°ú M3D ÅëÇÕÀ» ÃßÁøÇÏ°íÀÚ ÇÏ´Â °í°´µé¿¡°Ô ³ôÀº ¼öÁØÀÇ »ý»ê¼ºÀ» Á¦°øÇÑ´Ù. |