Ȩ > ´º½º > ´º½º > ¹ÝµµÃ¼/ºÎÇ°
  • Æ®À§ÅÍ
  • ÆäÀ̽ººÏ
  • ±¸Ç÷¯½º
  • ³×À̹ö¹êµå
  • Ä«Ä«¿À½ºÅ丮
     
»ï¼ºÀüÀÚ, EUV 5³ª³ë ÆÄ¿îµå¸® °øÁ¤ °³¹ß¡¦¹Ì¼¼È­ °øÁ¤ ¼±µµ
7³ª³ë ´ëºñ ·ÎÁ÷ ¸éÀû 25% Ãà¼Ò¡¤Àü·ÂÈ¿À² 20%¡¤¼º´É 10% Çâ»ó¡¦Ãʹ̼¼ °øÁ¤ Á¦Ç° ¾ç»ê º»°ÝÈ­
2019³â 04¿ù 16ÀÏ 22:38:43 À±Çö±â ±âÀÚ y1333@datanet.co.kr
   
¡ã È­¼ºÄ·ÆÛ½º EUV ¶óÀÎ Àü°æ

»ï¼ºÀüÀÚ´Â ±ØÀڿܼ±(EUV) ±â¼úÀ» ±â¹ÝÀ¸·Î ‘5³ª³ë °øÁ¤’ °³¹ß¿¡ ¼º°øÇß´Ù°í 16ÀÏ ¹àÇû´Ù.

¶ÇÇÑ 4¿ù ¾È¿¡ 7³ª³ë Á¦Ç°À» ÃâÇÏÇÏ°í ¿ÃÇØ ³»¿¡ ¾ç»êÀ» ¸ñÇ¥·Î 6³ª³ë Á¦Ç° ¼³°è¸¦ ¿Ï·áÇÏ´Â µî Ãʹ̼¼ °øÁ¤¿¡¼­ ±â¼ú ¸®´õ½ÊÀ» °­È­ÇÏ°í ÀÖ´Ù.

»ï¼ºÀüÀÚ´Â Ãʹ̼¼ °øÁ¤ Æ÷Æ®Æú¸®¿À È®´ë¸¦ ÅëÇØ ÆÄ¿îµå¸® ±â¼ú ¸®´õ½Ê°ú 4Â÷ »ê¾÷Çõ¸íÀ» À̲ø ½Ã½ºÅÛ ¹ÝµµÃ¼ »ç¾÷ °æÀï·ÂÀ» °­È­ÇÑ´Ù´Â Àü·«ÀÌ´Ù. »ï¼ºÀüÀڴ ÷´Ü °øÁ¤ ¿ª·® °­È­¸¦ ÅëÇØ ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ »ýÅÂ°è ¹ßÀü°ú ½Ã½ºÅÛ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ À°¼º¿¡µµ Å« ¿ªÇÒÀ» ÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù.

»ï¼ºÀüÀÚ°¡ À̹ø¿¡ °³¹ßÇÑ Â÷¼¼´ë ‘5³ª³ë °øÁ¤’Àº ¼¿ ¼³°è ÃÖÀûÈ­¸¦ ÅëÇØ ±âÁ¸ 7³ª³ë °øÁ¤ ´ëºñ ·ÎÁ÷ ¸éÀûÀ» 25% ÁÙÀÏ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç, 20% Çâ»óµÈ Àü·Â È¿À² ¶Ç´Â 10% Çâ»óµÈ ¼º´ÉÀ» Á¦°øÇÑ´Ù.

ƯÈ÷ 7³ª³ë °øÁ¤¿¡ Àû¿ëµÈ ¼³°èÀÚ»ê(IP)À» È°¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ¾î ±âÁ¸ 7³ª³ë °øÁ¤À» »ç¿ëÇÏ´Â °í°´Àº 5³ª³ë °øÁ¤ÀÇ ¼³°è ºñ¿ëÀ» ÁÙÀÏ ¼ö ÀÖ´Ù.

»ï¼ºÀüÀÚ´Â 7³ª³ë¿Í 6³ª³ë ÆÄ¿îµå¸® °øÁ¤¿¡¼­µµ ¾ç»êÀ» º»°ÝÈ­ÇÏ°í ÀÖ´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ´Â ¿ÃÇØ ÃÊ ¾÷°è ÃÖÃÊ·Î EUV °øÁ¤À» Àû¿ëÇÑ 7³ª³ë Á¦Ç° ¾ç»êÀ» ½ÃÀÛÇßÀ¸¸ç 4¿ù Áß¿¡ º»°Ý ÃâÇÏÇÒ °èȹÀÌ´Ù.

6³ª³ë °øÁ¤ ±â¹Ý Á¦Ç°¿¡ ´ëÇؼ­´Â ´ëÇü °í°´°ú »ý»ê ÇùÀǸ¦ ÁøÇàÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç Á¦Ç° ¼³°è°¡ ¿Ï·áµÅ(Tape-Out) ¿ÃÇØ ÇϹݱ⠾ç»êÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.

À̹ø Ãʹ̼¼ °øÁ¤ÀÇ ±â¹ÝÀÌ µÈ EUV ±â¼úÀº ±âÁ¸ ºÒÈ­¾Æ¸£°ï (ArF)º¸´Ù ÆÄÀåÀÇ ±æÀÌ°¡ ªÀº EUV ±¤¿øÀ» »ç¿ëÇØ º¸´Ù ¼¼¹ÐÇÑ ¹ÝµµÃ¼ ȸ·Î¸¦ ±¸ÇöÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °ÍÀÌ Æ¯Â¡ÀÌ´Ù. ±×·Î ÀÎÇØ È¸·Î¸¦ »õ±â´Â ÀÛ¾÷À» ¹Ýº¹ÇÏ´Â ¸ÖƼ ÆÐÅÍ´×(Multi-Patterning) °øÁ¤À» ÁÙ¿© ¼º´É°ú ¼öÀ²À» ³ôÀÏ ¼ö ÀÖ´Ù.

»ï¼ºÀüÀÚ°¡ ÷´Ü Ãʹ̼¼ °øÁ¤ ÆÄ¿îµå¸® »ý»êÀÇ ÇÙ½É ±â¼úÀ» È®º¸ÇÔ¿¡ µû¶ó ±¹³» ½Ã½ºÅÛ ¹ÝµµÃ¼ »ýÅ°谡 °­È­µÇ´Â µ¿½Ã¿¡ ½Ã½ºÅÛ ¹ÝµµÃ¼ ¿ª·®µµ ³ô¾ÆÁö´Â È¿°ú°¡ ÀÖÀ» °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù.

ÆÄ¿îµå¸® »ç¾÷Àº ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ, ¼ÒÀç, µðÀÚÀÎ, ÆÐŰ¡, Å×½ºÆ® µî ´Ù¾çÇÑ Àü¹® ¾÷üµéÀÌ ÇÔ²² ¼ºÀåÇØ¾ß ÇϹǷΠÀüÈÄ¹æ ¿¬°ü È¿°ú°¡ Å©´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ´Â 1ÀåÀÇ ¿þÀÌÆÛ¿¡ ¿©·¯ Á¾·ùÀÇ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Ç°À» »ý»êÇÏ´Â ‘MPW(Multi Project Wafer) ¼­ºñ½º’¸¦ ÃֽŠ5³ª³ë °øÁ¤±îÁö È®´ë Á¦°øÇØ °í°´µéÀÌ º¸´Ù Æí¸®ÇÏ°Ô ÃÖ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼¸¦ Á¦ÀÛÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï Áö¿øÇÑ´Ù.

¾Æ¿ï·¯ »ï¼ºÀüÀÚ ÆÄ¿îµå¸® Áö¿ø ÇÁ·Î±×·¥ÀÎ ‘SAFE(Samsung Advanced Foundry Ecosystem)’¸¦ ÅëÇØ IP ¿Ü¿¡µµ °øÁ¤ ¼³°è Å°Æ®(PDK: Process Design Kit), ¼³°è ¹æ¹ý·Ð(DM: Design Methodologies), ÀÚµ¿È­ ¼³°è Åø(EDA: Electronic Design Automation) µî 5³ª³ë °øÁ¤ ±â¹Ý Á¦Ç° ¼³°è¸¦ µ½´Â µðÀÚÀÎ ÀÎÇÁ¶ó¸¦ Á¦°øÇÑ´Ù.

ÆÕ¸®½º °í°´µéÀº À̸¦ È°¿ëÇØ º¸´Ù ½±°í ºü¸£°Ô Á¦Ç°À» ¼³°èÇÒ ¼ö ÀÖ°í ½ÅÁ¦Ç° Ãâ½Ã ½Ã±âµµ ¾Õ´ç±æ ¼ö ÀÖ´Ù.

»ï¼ºÀüÀÚÀÇ ÀÌ·± ¼­ºñ½º¿Í »ý»ê±â¼úÀº ±¹³» ÆÕ¸®½º ¾÷üµéÀÌ ±Û·Î¹ú ½ÃÀå¿¡¼­ °æÀïÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ½Ã½ºÅÛ ¹ÝµµÃ¼¸¦ ³»³õ´Â µ¥ Å« µµ¿òÀ» ÁÙ °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ.

»ï¼ºÀüÀÚ ÆÄ¿îµå¸®»ç¾÷ºÎ Àü·«¸¶ÄÉÆÃÆÀ ¹è¿µÃ¢ ºÎ»çÀåÀº “»ï¼ºÀüÀÚÀÇ EUV ±â¹Ý ÃÖ÷´Ü °øÁ¤Àº ¼º´É°ú IP µî¿¡¼­ ´Ù¾çÇÑ °­Á¡À» °¡Áö°í ÀÖ¾î 5G, ÀΰøÁö´É(AI), ÀüÀå µî ½Å±Ô ÀÀ¿ëó¸¦ Áß½ÉÀ¸·Î ³ôÀº ¼ö¿ä°¡ ¿¹»óµÈ´Ù”¸ç “ÇâÈÄ¿¡µµ ÷´Ü °øÁ¤ ¼Ö·ç¼ÇÀ¸·Î ¹Ì·¡ ½Ã½ºÅÛ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷À» À̲ø¾î ³ª°¥ °Í”À̶ó°í ¸»Çß´Ù.

»ï¼ºÀüÀÚ´Â ÃֽŠÆÄ¿îµå¸® »ý»ê½Ã¼³ÀÎ È­¼ºÄ·ÆÛ½º S3 ¶óÀο¡¼­ EUV ±â¹Ý ÃÖ÷´Ü °øÁ¤ Á¦Ç°À» »ý»êÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç ÇöÀç °Ç¼³ ÁßÀÎ È­¼ºÄ·ÆÛ½º EUV Àü¿ë ¶óÀÎÀ» 2020³âºÎÅÍ º»°Ý °¡µ¿ÇØ °í°´°ú ½ÃÀåÀÇ ¿ä±¸¿¡ ´ëÀÀÇØ ³ª°¥ °èȹÀÌ´Ù.

À±Çö±â ±âÀÚÀÇ ´Ù¸¥±â»ç º¸±â  
¨Ï µ¥ÀÌÅͳÝ(http://t564.ndsoftnews.com) ¹«´ÜÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷±ÝÁö | ÀúÀ۱ǹ®ÀÇ  

     

Àαâ±â»ç

 
°¡Àå ¸¹ÀÌ º» ±â»ç
Àλ硤µ¿Á¤¡¤ºÎÀ½
Àüü±â»çÀÇ°ß(0)  
 
   * 200ÀÚ±îÁö ¾²½Ç ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. (ÇöÀç 0 byte/ÃÖ´ë 400byte)
   * ¿å¼³µî ÀνŰø°Ý¼º ±ÛÀº »èÁ¦ ÇÕ´Ï´Ù. [¿î¿µ¿øÄ¢]
Àüü±â»çÀÇ°ß(0)
»ç¸í: (ÁÖ)È­»ê¹Ìµð¾î | ÁÖ¼Ò: ¼­¿ï½Ã °­³²±¸ °­³²´ë·Î 124±æ 26 À¯¼ººôµù 2Ãþ | ÀüÈ­: 070-8282-6180 | Æѽº: 02-3446-6170
µî·Ï¹øÈ£: ¼­¿ï¾Æ03408 | µî·Ï³â¿ùÀÏ: 2014³â 11¿ù 4ÀÏ | ¹ßÇà³â¿ùÀÏ: 2003³â 12¿ù 17ÀÏ | »ç¾÷ÀÚµî·Ï¹øÈ£: 211-88-24920
¹ßÇàÀÎ/ÆíÁýÀÎ: Á¤¿ë´Þ | Åë½ÅÆǸž÷½Å°í: ¼­¿ï°­³²-01549È£ | °³ÀÎÁ¤º¸°ü¸® ¹× û¼Ò³âº¸È£ Ã¥ÀÓÀÚ: ¹ÚÇϼ® | È£½ºÆà »ç¾÷ÀÚ: (ÁÖ)¾ÆÀ̳×ÀÓÁî
Copyright ¨Ï 2010 µ¥ÀÌÅͳÝ. All rights reserved. mail to webmaster@datanet.co.kr